溢康通空氣彈簧隔振設(shè)計及性能分析

壓印光刻機是一種精密儀器，外部環(huán)境的刺激對壓印光刻機有很大的影響。溢康通空氣彈簧是一種氣囊減震器，利用溢康通空氣彈簧隔離外界環(huán)境對壓印光刻機的干擾，可以保護(hù)壓印光刻機免受低頻激振力的激發(fā)。文章闡述了壓印光刻機溢康通空氣彈簧低頻單自由度隔振系統(tǒng)的隔振原理，確定溢康通空氣彈簧的剛度和隔振系統(tǒng)的固有頻率，理論結(jié)果為隔振系統(tǒng)的固有頻率和隔振效率與實際隔振系統(tǒng)的實驗結(jié)果一致表明壓印光刻機低頻隔振設(shè)計合理可行。

溢康通空氣彈簧是一個由橡膠網(wǎng)制成的彎曲膠囊。膠囊的兩端需要用兩塊鋼板連接起來，形成一個壓縮空氣室。橡膠和網(wǎng)線本身不提供承載能力，而是通過填充到膠囊中的壓縮空氣來完成。溢康通空氣彈簧是一種優(yōu)秀的低頻隔振器，它依靠橡膠袋中壓縮空氣的壓力變化來達(dá)到所需的剛度。目前溢康通空氣彈簧廣泛應(yīng)用于精密儀器、精密機械和特種設(shè)備的低頻隔振。

目前溢康通空氣彈簧的研究已經(jīng)取得了一些成果。采用有限元法計算矩形溢康通空氣彈簧的垂直剛度，并將理論與實驗進(jìn)行比較。兩者基本一致。溢康通空氣彈簧的承載面積、承載力、體積、內(nèi)壓和垂直剛度進(jìn)行了力學(xué)分析。