空氣彈簧隔振系統(tǒng)技術(shù)

振動(dòng)是物理世界中的正常現(xiàn)象。它不同于“振動(dòng)”的間歇性和快速變化。振動(dòng)是指物體連續(xù)、重復(fù)地進(jìn)行連續(xù)的機(jī)械運(yùn)動(dòng)。在精密測量的操作環(huán)境中，包括工廠生產(chǎn)線和實(shí)驗(yàn)室，振動(dòng)普遍存在。大型建筑物的振動(dòng)頻率通常為0.1~5Hz被動(dòng)隔振技術(shù)將振動(dòng)影響降至可接受范圍的定位，街道為15~100Hz，機(jī)械設(shè)備為10~200Hz，電氣設(shè)備為10~540Hz。

精確測量依賴于可靠的定位穩(wěn)定性。環(huán)境振動(dòng)和設(shè)備振動(dòng)會(huì)引起被測樣品與測量系統(tǒng)的相對運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)生很多偏差，從而大大降低了測量結(jié)果的重復(fù)性。因此，需要采用隔振技術(shù)，將振動(dòng)的影響降低到可接受的范圍內(nèi)。

被動(dòng)隔振技術(shù)

被動(dòng)隔振是指在測量系統(tǒng)與振動(dòng)源之間增加彈性元件、阻尼元件和慣性元件，以減少振動(dòng)的影響。常見的被動(dòng)隔振技術(shù)包括大理石隔振、阻尼（橡膠）隔振和氣浮隔振，以及以上技術(shù)的組合。

大理石具有高密度、低熱膨脹系數(shù)和高硬度。它不容易被環(huán)境因素改變。具有良好的減振和吸振性能。因此，常配備三坐標(biāo)、影像測量儀等各種精密測量設(shè)備。阻尼隔振采用阻尼隔振墊（專用橡膠墊）作為減振器。精密阻尼減振器的固有頻率為 5 至 8 Hz。氣浮隔振應(yīng)用空氣彈簧隔振器，優(yōu)質(zhì)空氣彈簧固有頻率低至1Hz，具有極高的隔振效率。

主動(dòng)隔振技術(shù)

主動(dòng)隔振技術(shù)是在測量系統(tǒng)和振動(dòng)源之間增加一個(gè)高靈敏度的傳感器，并配備精密驅(qū)動(dòng)裝置（壓電或磁感應(yīng)）提供相反方向的位移和力，以消除一定的振動(dòng)影響.

主動(dòng)隔振技術(shù)通常包括被動(dòng)隔振元件和主動(dòng)隔振器。主動(dòng)隔振器主要消除低頻（0.5~10Hz）外部振動(dòng)，而被動(dòng)隔振元件則負(fù)責(zé)消除高頻振動(dòng)和支撐載荷。功能。主動(dòng)隔振技術(shù)具有優(yōu)異的低頻隔振能力，適用于超精密測量場景。

相比

被動(dòng)隔振技術(shù)結(jié)構(gòu)簡單、易于實(shí)施、可靠性和經(jīng)濟(jì)性高，廣泛應(yīng)用于各種精密測量場景。主動(dòng)隔振技術(shù)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)修正，響應(yīng)時(shí)間短，控制算法更靈活，對低頻和超低頻振動(dòng)進(jìn)行隔離，隔振效果理想。但主動(dòng)隔振技術(shù)成本較高空氣彈簧隔振系統(tǒng)空氣彈簧隔振系統(tǒng)，且有一定的維護(hù)和使用成本。

被動(dòng)隔振技術(shù)和主動(dòng)隔振技術(shù)各有特點(diǎn)，適用于不同的精密測量場景。具體選擇隔振技術(shù)應(yīng)視具體情況而定。