光學平臺空氣彈簧隔振器理論力學

光學平臺空氣彈簧隔振器具有測量、生產(chǎn)制造技術、材料和集成電路技術、電子器件技術、，氣體彈簧隔振器的應用越來越普遍。比如，承載全部暴露組件的光刻技術可測量框架的震動減少。危及減震特征的一個標準是減震設備的共振頻率和阻尼系數(shù)。在阻尼作用下，共同地震區(qū)的減震效果非常明顯，而共同地震區(qū)之外的狀況恰好相反。因此，為了確保其他阻尼系統(tǒng)軟件的阻尼特性，有必要結合實際情況設定系統(tǒng)軟件阻尼。目前，典型的彈簧減震器選用固定節(jié)流閥填料和氣體節(jié)流閥減震。該產(chǎn)品減震調(diào)節(jié)結構復雜，難以保證。此外，在多個阻尼控制桿的操作過程中，難以保證每組軸向預埋孔規(guī)格一致。

一種根據(jù)汽缸調(diào)整氣固兩相流減震藕合功效的光學平臺空氣彈簧隔振器，其理論力學數(shù)字模型。彈簧減震器在外管中設有連接管，彈簧風道總成在內(nèi)管上方兩邊，外管通過上沖頭的密封與空氣彈簧風道的下部連接。內(nèi)缸按固定位置與上環(huán)狀蓋板和彈簧氣室密封連接。進氣口和排氣口設定在外缸的外內(nèi)壁上，一組環(huán)狀布置的噴頭設定在外缸的內(nèi)側，在外缸下方具有密封性。配備環(huán)狀底板，液壓桿通過環(huán)狀蓋板裝進內(nèi)缸腔內(nèi)，傾斜鍍鋅鋼絲繩的頂端固定于環(huán)狀蓋板上，傾斜鍍鋅鋼絲繩的底部固定于頭部下方。液壓桿和傾斜鍍鋅鋼絲繩組成單擺構造。固定負荷板固定于液壓桿上方。內(nèi)缸底部配有鋼彈簧。軟性門鉸鏈的下部組裝在活塞桿上方，軟性門鉸鏈的頂部組裝在液壓桿下方。